联系人：蒋经理
手机：15359273790
电话：15359273790
Q Q：3549711439
邮箱：3549711439@qq.com
地址：厦门市思明区吕岭路1733号2009单元
型号：602937-04
• 对应 VMIC 型号：VMIVME-4512-333-004512-000 G
• 功能：6U VME 总线模拟量输入/输出接口板，专为 Applied Materials、SVG、Thermco 等半导体设备配套设计。
技术规格
• 总线接口：VME 6U，32-bit 数据宽度，支持 D16/D32 传输
• 模拟量输入：16 路差分输入，可配置为 ±10 V、±5 V、0–10 V、4–20 mA
• 模拟量输出：8 路电压输出，±10 V 或 0–10 V，12-bit 分辨率
• 采样速率：100 kHz 总吞吐（所有通道总和）
• 隔离：250 V DC 通道-通道、通道-系统地
• 精度：±0.1 % FS（输入），±0.2 % FS（输出）
• 电源需求：+5 V DC 3 A、±12 V DC 200 mA，由 VME 背板提供
• 工作温度：0 °C ~ +60 °C
• 尺寸：233 mm × 160 mm（6U 单槽）
• 连接器：前面板 96-pin DIN 41612 母座，便于现场线缆快速拆卸
• 状态指示：每通道 LED 过压、开路、短路报警
功能特点
• 软件透明：支持 VME A16/A24 寻址，寄存器级读写，无需额外驱动即可在 VxWorks、Linux RT 下运行
• 现场诊断：自动检测输入开路、短路、超量程，并通过 LED 与中断上报
• 热插拔设计：支持 VME 热插拔规范，可在不停机条件下更换模块
• 冗余配置：两台同型号板卡并联运行，主备切换时间 < 1 ms，满足 7×24 连续工艺需求
• 抗干扰：全板敷形涂层，符合 SEMI F47 电压跌落标准
应用场景
• 半导体 CVD、PVD、刻蚀机台：实时采集腔体压力、温度、流量，输出阀门、泵速控制信号
• 光伏扩散炉：多点温度闭环控制与工艺气体流量调节
• 工业热处理炉：高温区热电偶信号采集与加热器功率输出
• 实验室等离子体装置：高精度电压/电流扫描与实时反馈控制
安装与维护
• 直接插入 6U VME 机箱任意槽位，系统上电自动识别
• 随板提供 Windows/VxWorks 示例程序与寄存器定义手册，便于二次开发
• 建议每 12 个月进行精度校准，校准接口位于前面板，无需拆机
认证标准
CE、UL、cUL、SEMI S2/S8 认证，满足半导体工厂洁净室与抗静电要求。
Discover our other products
VMIC VMIVME 4900 Dual Channel To Synchro/Resolv er Converter (Board 224 B)
VMIC VMIVME 5504 332-000165-000 Slave
GE FANUC VMIC LEGEND D PCI-5576-001 Fiber-Optic 333-855576-201 E
VMIC VMIVME Model 3120 Board - 332-003120-101 D w/Warranty
VMIC VMEBUS BOARD VMIVME 6015 ASSY:332- 0006015-000P
FANUC VMIVME-7487 / VMIVME7487
VMIC 333-657755-000 B LSC-3 4201 332-657755-000 E 332657755000 Board
INTERFACE VMIC VMIVME MODELE 5530S
VMIC 332-000132-B PCB 125848
VMIC VMIATX 5553
